具体书上有公式计算。和加速电压，元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右，重元素可能在几百纳米。82年的纯净水(站内联系TA)我也有一个零件，不过我当时是测金属上的涂层的成分的，测试结果发现涂层是二硫化钼，呵呵。会不会和你是一个零件啊?:Dtidegoo(站内联系TA)据说网上有一个蒙特卡罗模拟的程序，可以计算出穿透的深度及体积，你可以搜一下，另外我觉得EDS应该测不出来你那么厚的膜eddie999(站内联系TA)5u，应该可以，试试就知道了ccbear(站内联系TA)场发射扫描能谱分辨率在1微米左右。乌灯丝的分辨率要更大一些，主要是乌灯丝的电子束斑大。火山石(站内联系TA)场发射扫描能谱分辨率在1微米左右。乌灯丝的分辨率要更大一些，主要是乌灯丝的电子束斑大。错！！！::rol:束斑是可调的，场发射灯丝比乌灯丝穿透深度在同一条件下要深
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