雷尼绍激光干涉仪回转轴精度的测量方法

自动精密转台测量回转轴

上图 是SJ6000激光干涉仪回转轴校准系统安装示意图，主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。系统测量精度为±1″，测量分辨率可达0.01″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。

其测量过程可以概述为以下5步：

将WR50安装于回转轴中心，调整位置使偏心量尽可能小于0.1mm；

按图2所示安装好角度反射镜，调节激光激光干涉仪位置。

编写机床程序，设置回转轴测量的目标点和暂停时间，在激光干涉仪软件中做好相应设置。

调整WR50置于零位，激光干涉仪读数置零。

开始运行机床程序，激光干涉仪同时自动采集数据，按照测量要求采集往返循环数据。

自动方式的特点分析：

1.? ? ?该方法是自动采集数据，避免人为读数误差，精度高；

2.? ? ?测量过程全自动化，效率高；

3.? ? ?可测量任意方向的回转轴，可测量任意角度间隔，通用性强；

4.? ? ?可自动生成误差曲线和补偿数据，根据不同标准自动计算定位精度结果，无需人工计算。

5.??? 购买设备投入较高。NO！投入高那是2017年前的事情了，自我司推出激光干涉仪以来，逐步打破激光干涉仪被国外仪器垄断的局面。WR50自动精密转台和SJ6000激光干涉仪一样作为一款国产仪器，除具有进口仪器的高精度、高性能外，还具有价格实惠、软件定制功能。

回转轴测量实例：

广东客户回转轴测量

上海客户回转轴测量

浙江客户回转轴测量

回转轴精度补偿前后数据比对曲线：

补偿前曲线图

补偿后曲线图

▲? WR50技术参数：

型号：WR50

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.01″

最高转速：10rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池

WR50精密转台特写

我知道的有激光干涉测量和精密机床控制...迈克尔孙激光干涉仪是基于激光干涉原理来实现测试等方面的用途的最主要也是最重要的仪器。它是以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。

目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

现代工业需要满足日益严格的公差以及国际质量标准的要求，因此生产设备的工作性能受到前所未有的重视。为满足这一需求，研究人员利用激光的干涉原理推出了可以评估、监控并改善机器性能的两激光干涉测量系统，从而提高了生产力，缩短了停机时间，并使废品率降至最低。

激光干涉仪测量系统是迄今对机床、坐标测量机及其他位置精度至关重要的系统进行全面精度评估的最佳工具。此技术在这个领域已经有了许多应用。典型应用有:

传统的机床精度校正,

CNC机床精度校正与补偿,

第四轴的校正与补偿,

标准长度的测量,例如块规花岗石平台的校正,

光学平台精度检验,

PCB钻孔机精度校正与补偿,

三坐标空间精度校正,

半导体业机台校正。 还有全息照相...普通照相是把照相机的镜头对着被拍摄的物体，让从物体上反射的光进入镜头，在感光底片上产生物体的像。感光底片上记录的是从物体上各点反射出来的光的强度。但是，光是一种波，从被摄物体上各点反射出来的光不仅强度（它正比于光波振幅的平方）不同，而且位相也不同。全息照相就是一种既记录反射光的强度，又记录反射光的位相的照相术。这种照相术记录的是光波的振幅和位相的全部信息，所以称为全息照相。全息照相是应用光的干涉来实现的。它用激光（是良好的相干光）作光源。全息照相的原理如图所示，激光束被分成两部分：一部分射向被摄物体，另一部分射向反射镜（这束光叫参考光束）。从物体上反射出来的光（叫做物光束）具有不同的振幅和相位，物光束和从反射镜来的参考光束都射到感光片上，两束光发生干涉，在感光片上产生明暗的干涉条纹，感光片就成了全息照相。干涉条纹的明暗记录了干涉后光的强度，干涉条纹的形状记录了两束光的位相关系。