90纳米。
封装光刻机在国内市场已占据不小的份额，这是国产光刻机取得的进步。然而在代表着光刻机技术水平的晶圆制造光刻机方面，上海微装可生产加工90nm工艺制程的光刻机，这是国产光刻机最高水平，而ASML如今已量产7nm工艺制程EUV光刻机，两者差距不得不说非常大。
光刻机的最小分辨率、生产效率、良率均在不断发展。 光刻机的最小分辨率由公示 R=kλ/NA，其中 R 代表可分辨的最小尺寸，对于光刻技术来说R 越小越好，k 是工艺常数，λ 是光刻机所用光源的波长。
NA 代表物镜数值孔径，与光传播介质的折射率相关，折射率越大，NA 越大。光刻机制程工艺水平的发展均遵循以上公式。此外光刻机的内部构造和工作模式也在发展，不断提升芯片的生产效率和良率。
扩展资料：
注意事项：
进入机仓检查或维修必须切断电源，挂上警示牌并与中控，检修或检查时必须使用36V以下照明。
必须经常监视机器运转情况，如听任何不正常声音，应立即停机检查，查明原因并处理完故障后，方可重新起动。
正常运转中，应特别注意电机和转子的温度变化，保证充足的油润滑、水冷却，超过规定值立即停机检查。
运行时不准打开观察孔，以防物料飞出伤人，每周应检查一次转子卡箍螺栓的松紧情况。
百度百科-光刻机
人民网-世界首台分辨力最高的国产SP光刻机到底牛在哪？
你是学微波，又不是长期接触微波，而且你是学哪个波长的微波呢短的微波才对人体人伤害，像微波炉的
微波检测的基本知识
微波的性质与特点
微波是波长为1m～1mm的电磁波，既具有电磁波的性质，又不同于普通无线电波和光波。微波相对于波长较长的电磁波具有下列特点：
(1)定向辐射；
(2)遇到各种障碍物易于反射；
(3)绕射能力较差；
(4)传输特性良好，传输过程中受烟、火焰、灰尘、强光等的影响很小；
(5)介质对微波的吸收与介质的介电常数成比例，水对微波的吸收作用最强。?
微波振荡器与微波天线
微波振荡器是产生微波的装置。由于微波很短，频率很高（300MHz～300GHz)，要求振荡回路具有非常微小的电感与电容，故不能用普通电子管与晶体管构成微波振荡器。构成微波振荡器的器件有速调管、磁控管或某些固体元件。小型微波振荡器也可以采用体效应管。
由微波振荡器产生的振荡信号需要用波导管(波长在10cm以上可用同轴线)传输，并通过天线发射出去。为了使发射的微波具有尖锐的方向性，天线具有特殊的结构。常用的天线有喇叭形天线、抛物面天线、介质天线与隙缝天线等。?
微波传感器
由发射天线发出的微波，遇到被测物时将被吸收或反射，使功率发生变化。若利用接收天线，接收通过被测物或由被测物反射回来的微波，并将它转换成电信号，再由测量电路测量和指示，就实现了微波检测过程。根据上述原理，微波检测传感器可分为反射式与遮断式两种。?
反射式传感器
这种传感器通过检测被测物反射回来的微波功率或经过的时间间隔来表达被测物的位置、厚度等参数。?
遮断式传感器
这种传感器通过检测接收天线接收到的微波功率大小，来判断发射天线与接收天线间有无被测物或被测物的位置与含水量等参数。?
微波检测技术在工程机械中的应用?
1.微波液位计
2.微波物位计
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